ROHS檢測儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。
X射線熒光光譜儀通常可分為兩大類，波長色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)，波長色散光譜儀主要部件包括激發源、分光晶體和測角儀、探測器等，而能量色散光譜儀則只需激發源和探測器和相關電子與控制部件，相對簡單。
波長色散X射線熒光光譜儀使用分析晶體分辨待測元素的分析譜線，根據Bragg定律，通過測定角度，即可獲得待測元素的譜線波長：
nλ=2dsinaθ (n=1,2,3…)
式中 ，λ為分析譜線波長；d為晶體的晶格間距；θ為衍射角；n為衍射級次。利用測角儀可以測得分析譜線的衍射角，利用上式可以計算相應被分析元素的波長，從而獲得待測元素的特征信息。
能量色散射線熒光光譜儀則采用能量探測器，通過測定由探測器收集到的電荷量，直接獲得被測元素發出的特征射線能量：
Q=kE
式中，K為入射射線的光子能量；Q為探測器產生的相應電荷量；k為不同類型能量探測器的響應參數。電荷量與入射射線能量成正比，故通過測定電荷量可得到待測元素的特征信息。
待測元素的特征譜線需要采用一定的激發源才能獲得。目前常規采用的激發源主要有射線光管和同位素激發源等。
為獲得樣品的定性和定量信息，除光譜儀外，還必須采用一定的樣品制備技術，并對獲得的強度進行相關的譜分析和數據處理，
rohs指令是國家剛頒布的《電子電氣設備中限制使用某些有害物質指令 》的簡稱。顧名思義，RoHS檢測儀是一種檢測ROHS的檢測儀，原理是利用X射線檢測ROHS標準規定中的元素的含量，這些元素包括：
1.鉛 1000ppm以下 4.六價鉻 1000ppm以下
2.水銀 1000ppm以下 5.多溴聯苯(PBB) 1000ppm以下
3.鎘 100ppm以下 6.多溴二苯醚(PBDE) 1000ppm以下
RoHS檢測儀有很多種，價格也不等，但都比較貴，只有大的檢測中心和大型的公司有。目前很多專門機構都提供ROHS檢測的服務。
RoHS檢測儀目前市場上常見的類型是X射線熒光分析儀，又分為能量色散型和波長色散型，能量色散型因其技術原理及結構比波長色散型簡單，現市場上比較常見，其技術原理：
特征X射線
放射性同位素源或X射線發生器放出的X射線或Γ射線與樣品中元素的原子相互作用，逐出原子內層電子。當外層電子補充內層電子時，會放射該原子所固有能量的X射線-特征X射線。
元素含量與特征X射線強度的關系
不同元素特征X射線能量各不相同，依此進行定性分析；再根據特征X射線強度大小，可進行定量分析。
可用函數關系式表示為：C=f(k1I1, k2I2, k3I3...)
式中：Kn(n=1,2,3…)表示第n號元素的待定系數
In(n=1,2,3…)表示第n號元素釋放的特征X射線強度
由此可知只要通過標定確定系數Kn之后便可進行物質中元素的定量分析了。
在中華人民共和國境內生產、銷售和進口電子信息產品過程中控制和減少電子信息產品對環境造成污染及產生其它公害，適用本辦法。但是，出口產品的生產除外。
RoHS檢測儀是為了控制生產商生產的產品中對人體健康有害的重金屬含量。比如空調、洗衣機、吸塵器、熱水器、手機、這些產品在人們生活中都會經常遇到，所以如果重金屬超標會影響人體健康。建議生產商要嚴格控制重金屬含量，保障廣大消費者的健康。
